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薄膜铌酸锂(TFLN)光子芯片封装保偏光纤主动对准六轴微调定位机构设计

摘要

随着集成光子学向高密度、低功耗方向发展，薄膜铌酸锂(TFLN)光子芯片凭借其优异的电光调制效率与宽透明窗口，成为高速光通信与微波光子链路的核心器件。然而，TFLN芯片的光学封装面临保偏光纤与片上波导的高精度耦合难题——偏振消光比(PER)对角度偏差极度敏感，传统手动对准方式难以兼顾效率与亚微米级精度。

本论文设计了一套面向TFLN光子芯片封装的保偏光纤主动对准六轴微调定位机构。该机构集成XYZ三轴直线位移与绕XYZ三轴角度旋转的独立调节功能，采用压电驱动与柔性铰链放大机制实现纳米级步进分辨率。设计过