圆板形工件边缘研磨装置及其控制方法.pdfVIP

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21.申请号201380023886.5

22.申请日2013.02.14

23.优先权数据

2012-1057852012.05.07JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日

11.06

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2013/0534852013.02.14

(87)PCT国际申请的公布数据

W02013/168444JA2013.11.14

(71)申请人信越

地址东

申请人快递

(72)发明人加藤忠弘江成昭敏五十子光孝

(74)专利机构市金杜

11256

人

51.Int.01.

B24B9/00(2006.01)

H01L21/304(2006.01)

权利要求书1页说明书9页附图7页

(54）发明名称

圆板形工件用外周研磨装置

(57)

一种外周研磨装置，能够对坡口角度不同的工件的边缘进行研磨。对工件（W）的表

面侧及背面侧的边缘（Ea、Eb）进行研磨的边缘研磨单元（2A、2B）具有：研磨部