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面向半导体制造厂的电能质量监测与敏感设备保护系统设计

摘要

随着半导体制造工艺向极小节点演进，晶圆生产设备对电能质量的敏感性达到了前所未有的高度。微小的电压暂降或谐波畸变均可能导致大批量晶圆报废，造成巨大的经济损失。本课题旨在设计一套面向半导体制造厂的电能质量监测与敏感设备保护系统，以保障精密设备免受电能质量扰动影响。

本设计遵循“需求分析→总体设计→详细设计→实现→测试”的工程递进思路。首先分析了半导体厂对电能质量的严苛要求，明确了系统设计目标。随后，采用感知层、传输层、平台层与应用层的四层物联网架构进行总体设计，并详细阐述了扰动识别算法与设备保护策略。系统实现了高频数据采集、实时暂降识别、毫秒级保护投切以及可视化监控等核心功能。

本设计的核心创新点在于将小波变换与快速傅里叶变换相结合，实现了对短时电能质量扰动的快速提取与分类；同时，设计了基于边缘计算的协同保护机制，有效缩短了从扰动发生到保护动作的响应时间。测试结果表明，该系统能够稳定运行并有效保障敏感设备的安全，具有较高的工程应用价值。

第一章绪论

1.1研究背景

半导体制造业是现代信息技术的核心支柱，其生产过程具有高精密、高连续性和高能耗的特点。在晶圆制造的刻蚀、光刻、薄膜沉积等核心工艺环节中，各类精密设备需要极其稳定和纯净的电力供应。一旦供电系统出现微小的电能质量扰动，如电压暂降、瞬态过电压或谐波畸变