GBT 17873-2025 纯氖、高纯氖和超纯氖标准立项发展报告.docxVIP

纯氖、高纯氖和超纯氖标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:PureNeon,High-PurityNeonandUltra-PureNeon

摘要

关键词：纯氖；高纯氖；超纯氖；工业气体；标准化；气体纯度；检测方法

一、引言

氖气（Ne）是空气中含量极微的稀有气体之一，其化学性质极为稳定，在特定条件下具有独特的物理特性，如低沸点、高电离电位和优良的发光性能。氖气的主要应用包括：作为光刻机准分子激光器的工作介质气体，是半导体制造中深紫外光刻工艺不可或缺的原材料；用于霓虹灯及特种光源制造；用作低温工程中的制冷剂；在电子工业中用作保护气和载气，以及应用于高能物理研究、医学成像等诸多高新技术领域。

近年来，随着全球半导体产业格局的深刻变革和国内集成电路产业的跨越式发展，氖气的战略地位日益凸显。尤其是深紫外光刻用准分子激光器对氖气的纯度、杂质控制及批次一致性提出了极为苛刻的要求，高端应用领域所需的高纯氖和超纯氖产品长期依赖进口，已成为制约我国相关产业链安全的关键环节之一。在此背景下，对原有标准GB/T17873-1999《纯氖》进行修订与升级，制定涵盖纯氖、高纯氖和超纯氖三个级别产品的全新国家标准，对于规范市场秩序、引导产业升级、保障重点领域材料供应安全具有重大现实意义。

GB/T17873-2025《纯氖、高纯氖和超纯氖》