GBT 43603.3-2024 镍铂靶材合金化学分析方法 第3部分：碳含量的测定 高频红外检测法标准立项发展报告.docx

镍铂靶材合金化学分析方法第3部分：碳含量的测定高频红外检测法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:MethodsforChemicalAnalysisofNickel-PlatinumTargetAlloys—Part3:DeterminationofCarbonContent—HighFrequencyInfraredDetectionMethod

摘要

随着半导体、磁存储及平板显示等高端制造产业的迅猛发展，镍铂靶材合金作为关键功能性材料，在磁记录薄膜及集成电路互连层制备中发挥着不可替代的作用。靶材中碳元