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CN119465024A 一种高灵敏度太赫兹超表面双模传感器的制备方法 （北京大学）.pdfVIP

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  • 2026-08-17 发布于重庆
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CN119465024A 一种高灵敏度太赫兹超表面双模传感器的制备方法 （北京大学）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119465024A

    (43)申请公布日2025.02.18

    (21)申请号202411660173.6C23C14/20(2006.01)

    C23C28/00(2006.01)

    (22)申请日2024.11.20

    (71)申请人北京大学

    地址100871北京市海淀区颐和园路5号

    (72)发明人吴文刚曹云昊孙宏顺陈雨萨

    马丽筠

    (74)专利代理机构北京万象新悦知识产权代理

    有限公司11360

    专利代理师贾晓玲

    (51)Int.Cl.

    C23C

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