GBT 14264-2024 半导体材料术语标准立项发展报告.docxVIP

半导体材料术语（GB/T14264-2024）标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:SemiconductorMaterialTerminology

摘要

关键词：半导体材料；术语标准；标准化；GB/T14264-2024；第三代半导体；化合物半导体

一、引言

半导体材料作为现代电子信息产业的基石，其技术发展水平直接决定着一个国家在集成电路、光电子器件、功率电子、微波通信等战略性领域的竞争能力。从第一代元素半导体硅（Si）、锗（Ge），到第二代化合物半导体砷化镓（GaAs）、磷化铟（InP），再到以碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）为代表的第三代宽禁带半导体材料，半导体材料体系不断丰富，交叉融合趋势日益明显。与此同时，随着纳米技术、量子技术和低维材料研究的深入，大量新概念、新名词不断涌现，术语规范化需求十分迫切。

术语标准是技术标准体系中最基础、最具通用性的标准类型之一。统一、规范的术语定义是保障技术文件准确理解、促进科技成果有效传播、支撑行业管理和国际贸易顺利进行的前提条件。国际电工委员会（IEC）下设的TC39半导体器件技术委员会及SEMI国际半导体设备与材料协会等组织均高度重视术语标准化工作，持续发布和更新相关术语标准文件。

我国于1993年首次发布GB/T14264-1993《半导体材料术语》，这是我国半导体材