平面相移干涉仪标准化发展研究报告.docxVIP

平面相移干涉仪行业标准修订研究报告

Keywords:PhaseShiftInterferometerforFlat;StandardRevision;OpticalMetrology;PrecisionMeasurement;IntelligentManufacturing;JB/T13872;Standardization

摘要

一、引言1.1研究背景平面相移干涉仪是一种基于光干涉原理，通过引入已知相位偏移量并采集多帧干涉图，进而高精度重建被测面形的高端光学计量仪器。其测量精度可达纳米甚至亚纳米量级，是光学平面元件面形检测、超精密表面质量评价的关键装备。随着极紫外光刻（EUVL）技术的商业化推进、大口径空间光学系统的工程实施以及高功率激光光学元件的性能升级，对平面相移干涉仪的测量精度、动态范围、环境适应性及智能化水平提出了更高要求。现行行业标准JB/T13872-2020《平面相移干涉仪》由苏州慧利仪器有限责任公司等单位起草，于2020年发布实施，对规范我国平面相移干涉仪的产品质量、统一测试方法发挥了基础性作用。然而，该标准实施至今已逾四年，期间相关技术领域经历了快速发展，标准的部分技术指标和试验方法已显现出一定的滞后性。1.2标准修订的必要性第一，技术进步的迫切需求。近年来，相移干涉技术取得了多项突破性进展：超快相移算法可将