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微波同轴探针技术要求及测量方法标准化发展报告

GeneralSpecificationforMicrowaveCoaxialProbes:StandardizationDevelopmentReport

摘要

微波同轴探针作为半导体晶圆测试、微波器件表征及毫米波电路测量的核心部件，其性能直接影响电子测量系统的精度与可靠性。随着第五代移动通信（5G）、毫米波雷达、卫星通信及太赫兹技术的快速发展，行业对微波同轴探针的工作频率、插入损耗、回波损耗及寿命等指标提出了更高要求。然而，我国在该领域长期缺乏统一的行业标准，导致产品规格不一、测量方法各异，制约了国产化替代进程与产业协同发展。本报告基于工业和信息化部办公厅《关于印发2025年第一批行业标准制修订和外文版项目计划的通知》（工信厅科函〔2025〕84号），围绕行业标准《微波同轴探针技术要求及测量方法》（计划编号：2025-0131T-SJ）的修订工作，系统分析了标准修订的背景意义、技术内容框架、主要参与单位及预期效益。该标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会归口管理，中国电子科技集团公司第九研究所牵头修订，预计修订周期为12个月。标准的实施将填补我国微波同轴探针行业标准的空白，为产品设计、生产检验和应用选型提供统一的技术依据，有力推动电子测量仪器产业的高质量发展。

关键词

行业标准；标准化；技术规范

Abstract