半导体产品定义_PVD.pdf

A.PVD数据定义

数据解释

产品定义指物理气相沉积（PVD）设备

市场定义指所有在中国大陆销售PVD设备的销售规模，丌含增

值税，丌包含国产厂商的出口设备、丌包含服务备件以及

丌包含二手及翻新设备

数据维度名称解释

TOP供应商对应产品销售数据指该选项下对应公司PVD产品的销售数据。

TOP供应商年营业收入数据指该选项下对应公司整体的年营业收入数据。

行业数据指PVD设备在各行业的销售数据。

数据来源：MIRDATABANK/MIR睿工业

B.薄膜沉积设备基本定义

根据沉积工艺丌同，薄膜沉积设备主要分为化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、

原子层沉积(ALD)等，其中ALD属于CVD的一种。

化学气相沉积（CVD）技术是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要方式。CVD技术就是

把一种或多种蒸汽源原子或分子引入腔室中，在外部能量作用下发生化学反应并