原创力文档SEMIE30-1103
GENERICMODELFORCOMMUNICATIONSANDCONTROLOF
MANUFACTURINGEQUIPMENT(GEM)
ThisstandardwastechnicallyapprovedbytheGlobalInformationControlCommitteeandisthedirect
responsibilityoftheJapaneseInformationControlCommittee.CurrenteditionapprovedbytheJapanese
RegionalStandardsCommitteeonAugust8,2003.InitiallyavailableatOctober2003;tobe
publishedNovember2003.Originallypublishedin1992;previouslypublishedJuly2003.
4.3Alar
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