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SEMI E4—0699 半导体设备通信标准1消息传输（SECS-I）.pdf

SEMI E4—0699 半导体设备通信标准1消息传输（SECS-I）.pdf

    SEMIE4-0699

    SEMIEQUIPMENTCOMMUNICATIONSSTANDARD1MESSAGE

    TRANSFER(SECS-I)

    ThisstandardwastechnicallyapprovedbytheGlobalInformationControlCommitteeandisthedirect

    responsibilityoftheNorthAmericanInformationControlCommittee.Currenteditionapprovedbythe

    NorthAmericanRegionalStandardsCommitteeonFebruary28,1999.Initiallyavailableat

    May1999;tobepublishedJune1999.Originallypublishedin1980;previouslypublishedJanuary1999.

    1Introduction

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