CN119480744A 一种减薄晶圆的加工辅助装置及方法 (重庆邮电大学).pdfVIP

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  • 2026-08-23 发布于重庆
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CN119480744A 一种减薄晶圆的加工辅助装置及方法 (重庆邮电大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119480744A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411654703.6H01L21/687(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

(22)申请日2024.11.19

H01L21/02(2006.01)

(71)申请人重庆邮电大学

H01L21/304(2006.01)

地址400065重庆市南岸区南山街道崇文

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