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微测辐射热计用氧化钒薄膜：制备工艺与电阻温度性能的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，红外探测技术作为一种重要的非接触式检测手段，在军事、安防、工业检测、医疗诊断、环境监测以及航空航天等众多领域都发挥着不可或缺的作用。在红外探测系统中，微测辐射热计凭借其无需制冷、体积小、成本低、功耗低等显著优势，逐渐成为市场上的主流探测器类型，占据了非制冷红外探测器市场的主导地位。

微测辐射热计能够将入射的红外辐射能量转化为温度变化，进而通过热敏材料的电阻变化检测出来。在众多可用于微测辐射热计的热敏材料中，氧化钒薄膜脱颖而出，成为了研究和应用的焦点。这主要是因为氧化钒薄膜具备独特的物理性质，尤其是其在室温附近呈现出较高的电阻温度系数（TCR）和适宜的电阻率。高电阻温度系数意味着薄膜电阻对温度变化极为敏感，能够精确地感知微小的温度波动；适宜的电阻率则确保了与微测辐射热计外围电路的良好匹配，使信号的传输和处理更加高效、稳定。这些优异的性能使得氧化钒薄膜制备的微测辐射热计在红外探测领域表现出色，能够实现高灵敏度、高分辨率的红外探测与成像。

然而，目前氧化钒薄膜的制备工艺仍面临诸多挑战，不同的制备方法和工艺参数会对薄膜的微观结构、化学组成产生显著影响，进而极大地改变薄膜的电阻温度性能。例如，制备过程中的温度、气压、气体流量等因素稍有波动，就可能导致薄膜中氧含量的变化，从