CN119465389A 一种基于固态前驱体蒸发的气相沉积法晶体制备装置 (江苏布里其曼科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-24 发布于重庆
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CN119465389A 一种基于固态前驱体蒸发的气相沉积法晶体制备装置 (江苏布里其曼科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119465389A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411638502.7

(22)申请日2024.11.17

(71)申请人江苏布里其曼科技股份有限公司

地址223200江苏省淮安市淮安区平桥镇

兴平街

(72)发明人沈承刚沈琨毕少东

(74)专利代理机构北京铭创聚诚知识产权代理

有限公司13156

专利代理师韩凤娇

(51)Int.Cl.

C30B25/00(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图10页

(54)发明名称

一种基于固态前驱体蒸发的气相沉积法晶

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