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- 2026-08-23 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119480633A
(43)申请公布日2025.02.18
(21)申请号202411660759.2
(22)申请日2024.11.19
(71)申请人上海新傲芯翼科技有限公司
地址201815上海市嘉定区新徕路200号
(72)发明人汪子文高巍魏星李炜
(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限
公司31295
专利代理师冯启正
(51)Int.Cl.
H01L21/304(2006.01)
权利要求书1页说明书5页附图3页
(54)发明名称
SOI晶圆研磨抛光方法及SOI晶圆
(57)摘要
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