微机电系统产业进展与未来应用展望.pptVIP

MEMS发呈现实状况

及其应用前景;一、MEMS定义概述;与传统机械系统相比，MEMS系统具备如下优势：

?①微型化和集成化：几何尺寸小，易于集成。采用微加工技术可制造出微米尺寸的传感和敏感元件，并形成二维或三维的传感器阵列，再加上一体化集成的大规模集成电路，最后器件尺寸普通为毫米级。

?;②低能耗和低成本：采用一体化技术，能耗大大降低；并因为采用硅微加工技术和半导体集成电路工艺，易于实现规模化生产，成本低。?

③高精度和长寿命：因为采用集成化形式，传感器性能均匀，各元件间配备协调，匹配良好，不需校正调整，提升了可靠性。

?

④动态性好：微型化、质量小、响应速度快、固有频率高，含有优异动态特性。

;二、MEMS的历史和发呈现实状况;时间;2.2MEMS的发呈现实状况;

二）法国：

在市场运作方面，法国与美国市场保持紧密协作，瞄准美国航天与军用市场，并以此为立足点向民用产品、汽车和新领域拓展。

技联国际会议上，法国国家计量与测试试验室推出首项MEMS输出准确测量技术，它将有利于全球MEMS制造商提升产品性能开发、开发新功效、降低大规模生产的能源消耗，影响市场对小型化的需求和提升可靠性。

三）德国：

MEMS在德国国内重点领域是汽车，其次是化学设备、半导体。

德国的卡尔斯鲁研究中心在1987年提出了LIGA工艺而闻名于世，