GBT 45826-2025 光刻用掺钛石英玻璃标准立项发展报告.docxVIP

光刻用掺钛石英玻璃标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Titanium-DopedSilicaGlassforLithography

摘要

光刻用掺钛石英玻璃是集成电路制造中深紫外（DUV）及极紫外（EUV）光刻技术不可或缺的关键光学材料，其热膨胀系数近零、光学均匀性优异，直接决定了光刻成像质量与芯片制程良率。长期以来，该高端材料市场主要由日本、美国等少数企业垄断，我国相关产品在纯度、均匀性及批次稳定性方面存在明显差距，且缺乏统一的国家标准予以规范和引领。本报告以GB/T45826-2025《光刻用掺钛石英玻璃》为研究对象，系统论述了该标准的立项背景、编制原则、核心技术指标及其产业导向作用。标准明确了掺钛石英玻璃的术语定义、分类分级、技术要求、试验方法、检验规则及标志包装等内容，填补了我国在该领域的标准空白。本报告指出，该标准的发布实施将有效推动关键材料国产化替代进程，引导产业技术升级，并为我国半导体产业链供应链安全提供坚实支撑。未来，应进一步加强检测能力建设、强化标准宣贯实施并持续跟踪国际先进水平，推动我国光刻材料标准体系不断完善。

关键词：光刻；掺钛石英玻璃；国家标准；热膨胀系数；半导体材料；国产化；标准化

Keywords:Lithography;Titanium-DopedSilicaGlass;Na