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真空箱法氦检漏回收箱的设计_唐利利.pdf

DOI:10.13385/ki.vacuum.2010.03.011

第47卷第3期真空VACUUMVol.47,No.3

2010年5月May.2010

真空箱法氦检漏回收箱的设计

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唐利利,张政

(1.合肥皖仪科技有限公司,安徽合肥230088;2.安徽省机械科学研究所,安徽合肥230022)

摘要:高科技项目产品层出不穷,检漏仪随高新技术的不

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