TCASAS-硅基氮化镓外延片射频损耗测试方法.pdfVIP

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  • 2026-08-28 发布于上海
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TCASAS-硅基氮化镓外延片射频损耗测试方法.pdf

ICS29.045

CCSH83

团体标准

T/CASAS076—征求意见稿

硅基氮化镓外延片射频损耗测试方法

Testmethodforradiofrequency(RF)lossesinsilicon-basedgallium

nitrideepitaxialwafers

(征求意见稿)

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