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先进制造技术第5章微细加工从微米到纳米——现代精密制造的理论与技术体系

Contents本章内容概览微机械与微细加工技术的核心工艺与发展前沿。01微机械与微细加工概述02硅微细加工技术03光刻工艺04微细电火花加工05微细切削加工技术06薄膜气相沉积技术07纳米加工技术

Chapter01微机械与微细加工概述理解微机械的基本特征、产品分类与微细加工技术的体系构成

MEMS·微机电系统微机械的基本特征微机械并非传统机械的简单缩小，而是小型化与高精度、低功耗与高灵敏度、智能化与低成本量产的统一体。Scale微小体积·微米精度体积小、重量轻且结构坚固，加工精度可达微米级，适于集成到极紧凑空间，广泛应用于手机、汽车、医疗植入物等场景Sensitivity极低能耗·极速响应能耗极小、响应速度快、灵敏度高，能检测微弱物理信号并快速输出响应，是高精度传感器和执行器的理想载体Intelligence智能感知·低成本量产多功能化和智能化特征显著，既能感知环境又能控制环境，且适于大批量光刻生产，单位制造成本随产量增加大幅降低MEMS微机电系统芯片实物，呈现微观结构细节

ProductClassification微机械的主要产品分类微机械产品按功能可分为四大体系——微构件提供基础结构单元、微传感器实现物理量感知、微执行器完成动作输出、专用微系统集成多功能于微型平台，四者共同构成了