（2027年）气体收集装置.pptxVIP

气体收集装置

目录CONTENTS02.04.05.01.03.06.概述向下排空气法排水集气法方法比较与选择向上排空气法实验安全与应用

01概述

定义与基本概念气体捕集器定义在冷却表面上通过凝结方式捕集气体或蒸汽的装置，通常置于真空容器和泵之间，用于吸附残余气体或捕集油蒸汽以净化真空环境。冷阱别称又称冷凝捕集器，根据用途可分为水汽捕集器和低温冷阱，按工作原理分为制冷式和吸附式两种主要类型。核心功能保护真空泵免受腐蚀性气体损伤、延长设备寿命、提升干燥效率并缩短抽真空时间。应用范围从传统真空镀膜扩展到半导体制造、新能源材料制备、农产品干燥保鲜及钢铁、化工、生物医疗等工业领域。

目的与重要性真空环境净化通过低温冷凝效应（-120℃至-150℃）捕集80%以上的水蒸气、油蒸气等高沸点残余气体，解决油扩散泵抽气能力不足的问题。系统保护避免腐蚀性气体损伤真空泵内部结构，显著降低设备维护成本并延长使用寿命。污染控制防止高沸点蒸汽成为工件污染源，直接影响产品质量和生产效率，超低温捕集泵是解决此类问题的优选方案。

主要组成部件低温表面现代设备配备彩色触摸屏与工业PLC组合，集成压缩机压力保护、水冷监测及通信接口功能。控制系统除霜装置辅助模块核心部件为可制冷至-130℃以下的金属或玻璃盘管，分为内冷式、外冷式和无需冷冻介质的干式三种结构。水汽捕集器需配备该装置以应对镀膜等高放气量场景，而低温冷阱因置