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探究射频电感耦合等离子体特性及模式转变机制的实验研究

一、引言

1.1研究背景与意义

射频电感耦合等离子体（Radio-FrequencyInductivelyCoupledPlasma，RF-ICP）作为一种重要的等离子体产生方式，在现代科学研究和工业生产中占据着举足轻重的地位。自1884年Hittorf报道了“无电极的环形放电”现象以来，电感放电技术不断发展，而射频电感耦合等离子体凭借其独特的优势脱颖而出。它能够在低气压环境下产生高密度等离子体，这一特性使得它在众多对等离子体密度要求严苛的领域中得以广泛应用。例如，在半导体工业里，制造纳米级别的芯片需要精确控制等离子体对硅片等材料进行刻蚀、沉积等加工操作，RF-ICP的高密度等离子体可以实现对材料原子级别的精确操控，确保芯片制造的高精度和高性能，从而满足不断缩小的芯片尺寸和不断提升的集成度要求。在真空镀膜领域，利用RF-ICP能够在基底材料表面均匀地沉积各种薄膜，制备出具有特殊光学、电学、力学性能的薄膜材料，广泛应用于光学镜片、电子器件封装等方面。在电光源研究中，RF-ICP可用于激发气体产生特定波长的光，为新型节能光源的研发提供了技术支持。

在RF-ICP放电过程中，存在着模式转变现象，即从容性耦合放电（E模）转变为感性耦合放电（H模），或者反之。这种模式转变并非简