CN119812032A 用于电涡流传感器的标定方法、厚度测量方法、装置及化学机械抛光设备 (华海清科股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-01 发布于重庆
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CN119812032A 用于电涡流传感器的标定方法、厚度测量方法、装置及化学机械抛光设备 (华海清科股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119812032A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510206389.3B24B37/34(2012.01)

B24B57/02(2006.01)

(22)申请日2024.11.13

(62)分案原申请数据

202411612206.X2024.11.13

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人田芳馨路新春王同庆赵德文

刘杰

(51)Int.Cl.

H01L21/

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