芯片封装测试流程中装片胶厚度测试方法系统结构与数学模型
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TOC\o1-3\h\u8377芯片封装测试流程中装片胶厚度测试方法系统结构与数学模型 1
308071.1测量系统总体方案 1
151351.1.1测量系统数据获取流程 2
116631.1.2系统功能分析 2
78931.2激光三角法的光学测量原理 3
180391.1.1斜射式三角法 4
75841.1.2直射式三角法 6
114311.1.3直射式激光三角法和斜射式比较 7
15361.3最小二乘法运算 8
1.1测量系统总体方案
本课题采用的测量方案是在激光
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