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《高功率直流电源编制说明》.pdf

《高功率直流电源编制说明》.pdf

    《高功率直流电源》

    编制说明

    团标制定工作组

    二○二六年八月

    一、工作简况

    （一）任务来源

    高功率直流电源广泛应用于工业磁控溅射等工业场景，是磁

    控溅射镀膜工艺的核心供电装备，主要完成电能变换，为溅射工

    艺提供稳定的直流电能，产品功率等级20kW以上、输出电压可

    达1000

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