CN119480630A 固定电荷的监控方法、监控装置和工艺温度的调控系统 (安徽长飞先进半导体股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-02 发布于重庆
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CN119480630A 固定电荷的监控方法、监控装置和工艺温度的调控系统 (安徽长飞先进半导体股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119480630A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411614637.X

(22)申请日2024.11.13

(71)申请人安徽长飞先进半导体股份有限公司

地址241002安徽省芜湖市弋江区马塘街

道利民东路82号

(72)发明人李小昆史田超邓辉

(74)专利代理机构北京知帆远景知识产权代理

有限公司11890

专利代理师张举仕

(51)Int.Cl.

H01L21/28(2025.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图3页

(5

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