CN119509341A 用于测量晶圆偏心的装置及方法 （拓荆科技(上海)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119509341A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202411624024.4

(22)申请日2024.11.13

(71)申请人拓荆科技（上海）有限公司

地址201306上海市浦东新区中国（上海）

自由贸易试验区临港新片区鸿音路

1211号10幢304室

(72)发明人杨辰烨

(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

司31100

专利代理师胡林岭

(51)Int.Cl.

G01B7/312(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

G01B7/