CN119846262A 基于扫描电镜观察mlcc陶瓷介质材料微观结构的方法和应用 （深圳先进电子材料国际创新研究院）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119846262A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202311334771.X

(22)申请日2023.10.16

(71)申请人深圳先进电子材料国际创新研究院

地址518103广东省深圳市宝安区福永街

道龙王庙工业区

(72)发明人张蕾赵一凡黄雄于淑会孙蓉

(74)专利代理机构北京市诚辉律师事务所11430

专利代理师韩晶范盈

(51)Int.Cl.

G01Q30/02(2010.01)

G01Q30/20(2010.01)

权利要求书1页说明书4页附图4页

(54)发明名称

基于扫描电镜观察MLCC陶瓷介质材料微观结构的方法和应用

(57)摘要

本发明公开了一种基于扫描电镜观察MLCC陶瓷介质材料微观结构的制样及观察方法，包括以下步骤：MLCC试样预处理：将MLCC样品固封在

CN119846262A绝缘树脂中，通过金相抛磨暴露出内电极；固定：将导电胶带分别将MLCC抛光面的左右两侧与金属样品台相连接；SEM拍摄得到背散射像：在磁透镜和CBS模式下观察MLCC样品的介质材料微观结构。本发明采用上述方法观察MLCC陶瓷介质材料微观结构，操作过程方便快捷，不影响MLCC的表面结构，可以更准确地观察其形貌及尺寸，为后

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