CN119845195A 多倍率成像系统轴偏检测系统及方法 （上海中科飞测半导体科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119845195A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202510330940.5

(22)申请日2025.03.20

(71)申请人上海中科飞测半导体科技有限公司

地址200000上海市浦东新区中国（上海）

自由贸易试验区临港新片区玉宇路

1068号、飞渡路1568号、天高路1111号

6幢

(72)发明人黄有为陈雪影陶陶陈鲁

(74)专利代理机构深圳鼎合诚知识产权代理有限公司44281

专利代理师郭燕彭家恩

(51)Int.Cl.

G01B11/27(2006.01)

G01M11/02(2006.01)

权利要求书3页说明书7页附图5页

(54)发明名称

多倍率成像系统轴偏检测系统及方法

(57)摘要

CN119845195A本发明实施例公开了多倍率成像系统轴偏检测系统及方法，系统包括物镜、多个管镜、管镜切换结构、Z向运动台、相机、分束器和标记板；检测方法基于参考光束和被测物离焦成像，采用分束器的反射光束作为参考光束，结合被测物离焦成像方法，通过参考光斑和成像光斑在相机不同Z向位置上的位置变化，测量光轴倾斜，实现对具备多放大倍率管镜模组与物镜的轴偏测量；因采用分束器的反射光束作为轴偏测量时的参考光束，并在结果中进行校