2025差分电迁移分析仪校准规范.docx

差分电迁移分析仪校准规范

CalibrationSpecificationofDifferentialElectricalMobilityAnalyzers

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目录

TOC\o1-3\h\z\u引言 II

1范围 3

2引用文件 3

3 术语 3

3.1迁移速度 3

3.2电迁移 3

3.3双极荷电器 3

3.4单极荷电器 3

3.5差分电迁移分级器 4

4概述 4

5计量特性 4

6校准条件 5

6.1环

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