基于红外干涉的双光束与多光束外延层测厚研究.pdfVIP

西南民族大学学报(自然科学版)

JournalofSouthwestMinzuUniversity(NaturalScienceEdition)

ISSN2095-4271,CN51-1672/N

《西南民族大学学报(自然科学版)》网络首发论文

题目：基于红外干涉的双光束与多光束外延层测厚研究

作者：杨丽，陈顺强，徐洋洋，高婧然，张书昕

网络首发日期：2026-07-16

引用格式：杨丽，陈顺强，徐洋洋，高婧然，张书昕．基于红外干涉的双光束与多光束

外延层测厚研究[J/OL]．西南民族大学学报(自然科学版).

/urlid/51.1672.N1013.002

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