半导体器件机械和气候试验方法第26部分:静电放电(ESD)灵敏度测试人体模型(HBM)标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:SemiconductorDevices—MechanicalandClimaticTestMethods—Part26:ElectrostaticDischarge(ESD)SensitivityTesting—HumanBodyModel(HBM)
摘要
静电放电(ESD)是导致半导体器件在制造、装配、运输及使用过程中发生失效或潜在损伤的最主要应力之一。据统计,电子工业每年因静电危害造成的经济损失高达数百亿美元,其中人体带电接触器件引发的人体模型(HBM)放电事件占比最高。为科学评估半导体器件对HBM型静电放电的耐受能力,国际电工委员会(IEC)制定了IEC60749系列标准,其第26部分专门规定了静电放电灵敏度测试的人体模型方法。2025年12月23日,IEC正式发布新版标准IEC60749-26:2025,作为该领域的最新技术规范。
本报告系统梳理了该标准的立项背景、发展沿革、主要技术内容及其与国际国内相关标准的协调关系。标准的核心内容包括:模拟人体放电特性的标准化RC测试电路(100pF电容、1.5kΩ电阻)、分档递增的放电电压序列、多引脚组合的
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