柔性OLED面板蒸镀工序规程.docx

柔性OLED面板蒸镀工序规程

1.目的与适用范围

本规程旨在规范柔性OLED面板显示区域制造过程中核心的有机材料蒸镀作业流程。通过标准化的操作步骤，确保红、绿、蓝三色有机发光层及电子传输层、空穴注入层等功能膜层的厚度、均匀性、色度坐标以及成膜质量达到设计规格要求，从而保障柔性屏体的发光效率、寿命及显示均一性。本文件适用于第6代及以上柔性OLED生产线中，采用线性蒸镀源或点源进行有机材料及金属阴极蒸镀的所有工序，涵盖从基板装载到成品下料的全过程控制。

2.引用标准与术语定义

2.1引用标准

在执行本规程时，需符合国家电子元器件洁净室施工及验收规范、半导体设备安装工程施工及验收规范，以及企业内部