CN119852211A 一种晶圆清洗输送过程的智能控制方法 （广东凯迪微智能装备有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119852211A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202510039398.8

(22)申请日2025.01.10

(71)申请人广东凯迪微智能装备有限公司

地址523000广东省东莞市大朗镇大朗富

通路330号6栋302室

(72)发明人江永熊伟

(74)专利代理机构广东正恒知识产权代理事务所(普通合伙)44994

专利代理师欧阳学仕

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

B08B3/02(2006.01)

B08B13/00(2006.01)

权利要求书4页说明书10页

(54)发明名称

一种晶圆清洗输送过程的智能控制方法

(57)摘要

CN119852211A本发明涉及信息技术领域，具体涉及半导体晶圆清洗技术的一种晶圆清洗输送过程的智能控制方法，包括：在晶圆输送过程中，采用陀螺仪传感器实时检测输送装置的震动和位移信号，将采集到的信号输入到预先训练的支持向量机模型中进行分类，判断当前震动和位移是否超出预设阈值，该支持向量机模型使用历史数据训练得到，能够准确区分正常和异常的震动位移状态；当检测到超出阈值的震动或位移时，触发伺