CN119852156A 用于rf等离子体工具中的多级脉冲的系统和方法 （朗姆研究公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119852156A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202411644877.4

(22)申请日2020.04.24

(30)优先权数据

62/840,3352019.04.29US

(62)分案原申请数据

202080046995.92020.04.24

(71)申请人朗姆研究公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人吴垠龙茂林约翰·德鲁厄里维克拉姆·辛格

(74)专利代理机构上海胜康律师事务所31263

专利代理师李献忠张华

(51)Int.Cl.

H01J37/32(2006.01)

权利要求书7页说明书70页附图54页

(54)发明名称

用于RF等离子体工具中的多级脉冲的系统

和方法

(57)摘要

CN119852156A描述了多级脉冲的系统和方法。所述系统和方法包含产生四或更多个状态。在所述四或更多个状态中的每一者期间，射频(RF)产生器产生RF信号。所述RF信号具有四或更多个功率电平，且所述四或更多个功率电平的每一者对应于所述四或更多个状态。所述多级脉冲促进处理衬底方

CN119852156A

CN119852156A权利要求书