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集成电路制造师理论考试（初级）模拟试卷测试题及答案

本试卷为集成电路制造师初级理论考试模拟练习，请考生按照要求作答，考试总分为100分，作答时间为90分钟。

基本信息：[矩阵文本题]*

学校：

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姓名：

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身份证号：

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一、单选题（本大题共15小题，每小题2分，共30分）

1.磷扩散中“高温推进”阶段主要改变的是什么？[单选题]*

磷在硅体内的浓度分布和结深(正确答案)

表面磷源浓度

硅片的晶向

石英舟的位置

答案解析：

磷扩散工艺分为低温进磷