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测控技术

•82•2018年第37卷第8期誓纖感_■微■仪表

双晶片悬臂梁式压电传感器的有限元仿真研究

崔宜梁，王海峰，李蒙，孙凯利，郭修宇

(青岛大学机电工程学院，山东青岛266071)

摘要:压电传感器作为一种便捷、高效的传感器类型，越来越受到人们的青睐。为研究压电传感器机电

耦合能力，将压电高聚物聚偏氟乙婦（PVDF)黏结而成的压电双晶片悬臂梁作为研究对象，利用有限元

分析软件ANSYSWorkbench，首先完成对模型的构建和模态分析，得出模型的固有频率和固有振型，再

建立压电材料的压电本构方程，对压电双晶片悬臂梁模型发电量进行模拟仿真，最后将仿真结果与前人

研究结果相对比。分析得出：在10mm的形变量下，能够产生最大320V