《碳化硅单晶片残余应力定量测试 光弹法》.pdf

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ICS29.045

CCSH83

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXXX—XXXX

TheQuantitativeMethodforTestingResidualStressofSiliconCarbideSingleCrystal

Wafers—PhotoelasticMethod

(讨论稿)

XXXX

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