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激光干涉仪在低频微小振动测量中的关键技术与应用进展

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学研究与工业生产中，低频微小振动测量至关重要。随着科技不断进步，众多领域对低频微小振动测量的精度和可靠性提出了更高要求。在航空航天领域，飞行器在飞行过程中，机翼、机身等结构会受到气流、发动机振动等多种因素影响而产生低频微小振动，这些振动若不能被精确测量与有效控制，可能导致结构疲劳损坏，影响飞行安全与性能，因此，对飞行器结构的低频微小振动进行高精度测量，能为飞行器的设计优化、故障诊断以及飞行安全提供重要依据。在生物医学研究中，细胞、生物分子等微观层面的低频微小振动与生命活动密切相关，精确测量这些振动，有助于深入了解生物分子的结构与功能、细胞的生理病理过程，为疾病诊断、药物研发等提供关键信息。

激光干涉仪作为一种基于光的干涉原理的精密测量仪器，具有高精度、高分辨率以及非接触测量等显著优势，在低频微小振动测量领域展现出巨大潜力。其高精度特性使得它能够检测到极其微小的振动变化，为需要高精度测量的科学研究和工业应用提供了可靠手段；非接触测量方式则避免了对被测物体的干扰，特别适用于对脆弱或易损物体的振动测量。随着激光技术、光学元件制造技术以及信号处理技术的不断发展，激光干涉仪的性能得到进一步提升，为低频微小振动测量开辟了新的途径，推动了相关领域的技术进步。

1.2国内外研究现状

国外对激光干涉仪