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基于光热反射的热物性显微测量技术结题报告

一、研究背景与意义

在微纳电子、先进制造、新能源等前沿领域，器件特征尺寸持续缩小至微米甚至纳米量级，热管理问题愈发成为制约性能提升的关键瓶颈。传统热物性测量技术如激光闪射法、稳态平板法等，因空间分辨率低（通常在毫米级别），已无法满足微纳尺度下材料热导率、热扩散系数等参数的精准测量需求。例如，在第三代半导体器件中，氮化镓（GaN）基高电子迁移率晶体管（HEMT）的热导率分布直接影响器件的功率密度与可靠性，而其热传导路径仅在微米级范围内变化，传统技术难以捕捉这一尺度下的热物性差异。

光热反射技术（PhotothermalReflection,PTR）作为一种非接触式光学测量方法，通过探测材料表面因周期性激光加热产生的温度调制信号，实现热物性参数的定量分析。该技术具备微米级空间分辨率、非破坏性测量、可实现原位实时监测等优势，为微纳尺度热物性研究提供了全新的技术途径。本项目针对光热反射技术在显微测量领域的关键科学问题与技术难点展开研究，旨在突破现有技术局限，建立一套高精度、高空间分辨率的热物性显微测量系统，为我国高端制造与前沿科学研究提供核心技术支撑。

二、研究目标与内容

（一）研究目标

突破光热反射显微测量系统的核心技术瓶颈，实现空间分辨率优于2微米、热导率测量精度优于5%的测量能力。

建立适用于不同材料体系（金属、半导体、复合材料等）的热物