CN119550241A 一种多工序双向压力调节半导体晶圆抛光装置及方法 (大连理工大学).pdfVIP

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  • 2026-09-13 发布于重庆
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CN119550241A 一种多工序双向压力调节半导体晶圆抛光装置及方法 (大连理工大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119550241A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202411560284.XB24B49/00(2012.01)

B24B57/02(2006.01)

(22)申请日2024.11.04

(71)申请人大连理工大学

地址116024辽宁省大连市高新园区凌工

路2号

(72)发明人康仁科高尚杨帆孙跃文

赵杨董志刚

(74)专利代理机构大连东方专利代理有限责任

公司21212

专利代理师修睿

(51)Int.Cl.

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