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光罩版储存使用管理规范

第一章总则

1.1目的与背景

光罩作为半导体及微电子制造过程中的核心母版，其物理状态、图形精度及表面洁净度直接决定了最终产品的良率与性能特征。鉴于光罩具有高价值、高精密性、易受损以及包含核心知识产权等特性，为了确保光罩在全生命周期内的安全性、完整性与可追溯性，特制定本管理规范。本规范旨在通过标准化的流程，对光罩的入库、储存、领用、日常维护、清洗、报废等环节进行严格管控，最大限度地降低因人为操作失误、环境波动或管理疏漏导致的微尘污染、划伤、氧化及图形缺损风险。

1.2适用范围

本规范适用于公司内部所有光罩版（包含主光罩、备用光罩、测试光罩及研发实验用光罩）的实物管理与系统数据管理。涵盖部门包括光罩库房、光刻工艺部、质量检测部、设备工程部及相关研发单位。所有涉及光罩操作、流转及管理的相关人员必须严格遵守本规范中的每一项条款。

1.3基本原则

光罩管理遵循“专库专管、分级防护、先进先出、全程追溯”的基本原则。所有光罩必须储存在符合特定洁净度等级和温湿度控制要求的恒温恒湿柜或洁净室环境中；严禁在非洁净环境下裸露光罩；严禁非授权人员接触关键光罩；所有流转动作必须在制造执行系统（MES）或光罩管理系统中实时记录，确保账物卡一致。

第二章管理职责

2.1光罩库房管理职责

库房管理员是光罩实物管理的第一责任人，主要负责光罩的接收、入库检验、上架储存、盘点及发货工