ISO 21360-62023 真空技术测量真空泵性能的标准方法第6部分低温真空泵标准立项发展报告.docx

真空技术测量真空泵性能的标准方法第6部分：低温真空泵标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:VacuumTechnology—StandardMethodsforMeasuringVacuum-PumpPerformance—Part6:CryogenicVacuumPumps

摘要

随着半导体制造、薄膜沉积、粒子加速器及空间模拟等尖端科技领域的飞速发展，低温真空泵凭借其无油洁净、超高真空获取能力及对水蒸气等可凝性气体的高效抽除特性，已成为现代真空工程中不可替代的核心装备。然而，长期以来低温真空泵的性能测试缺乏统