SJT 12228-2026 集成电路用有机溶剂剥离液 标准立项发展报告.docx

集成电路用有机溶剂剥离液标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:OrganicSolventStripperforIntegratedCircuits

摘要

随着集成电路制程节点不断微缩至28nm及以下，光刻胶剥离工艺对化学试剂的纯度、颗粒控制及金属离子含量提出了近乎苛刻的要求。有机溶剂剥离液作为半导体制造中去除光刻胶的关键湿电子化学品，其质量稳定性直接影响芯片良率与可靠性。当前，我国集成电路用有机溶剂剥离液市场长期依赖进口，国内缺乏统一的行业标准，导致产品性能参差不齐，评价方法各自为政，严重制约了国产化替代进程。本报告基于SJ/T