原创力文档真空镀膜中磁场分布的作用
真空镀膜中磁场分布的作用磁场分布可精确控制等离子体的运动轨迹使镀膜粒子能够更精准地到达基底表面详解在真空镀膜过程中等离子体包含大量的镀膜粒子合适的磁场分布能对等离子体中的带电粒子施加洛伦兹力改变其运动方向和路径让粒子沿着预定的轨迹运动从而准
1.磁场分布可精确控制等离子体的运动轨迹，使镀膜粒子能够更精准地
到达基底表面。
详解：在真空镀膜过程中，等离子体包含大量的镀膜粒子。合适的磁场
分布能对等离子体中的带电粒子施加洛伦兹力，改变其运动方向和路径，让
粒子沿着预定的轨迹运动，从而准确地沉积
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