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- 2026-09-17 发布于河北
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一、引言
1.1研究背景与意义
在材料科学与表面工程领域，多弧离子镀技术凭借独特优势，已成为材料表面改性与薄膜制
备的关键技术，在众多工业领域发挥着举足轻重的作用。多弧离子镀技术作为物理气相沉积
(PVD)技术的重要分支,最早于20世纪60年代由苏联人开发.80年代初美国Multi-Arc
公司将实用化，随后在全球范围内得到广泛应用和迅速发展。与他薄膜制备技术相比，多
弧离子镀技术具有镀膜速度高、
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