IEC TS 62607-6-28：2025 纳米制造 关键控制特性 第6-28部分石墨烯相关产品 衬底上石墨烯薄膜的层数拉曼光谱标准立项发展报告.docxVIP

纳米制造关键控制特性第6-28部分：石墨烯相关产品衬底上石墨烯薄膜的层数：拉曼光谱标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Nanomanufacturing–KeyControlCharacteristics–Part6-28:Graphene-relatedProducts–NumberofLayersforGrapheneFilmsonaSubstrate:RamanSpectroscopy

摘要

石墨烯作为最具代表性的二维纳米材料，因其优异的电学、力学、热学和光学性能，在微电子器件、柔性显示、传感器、储能等领域展现出广阔的应用前景。石墨烯薄膜的层数是决定其物理化学性质的核心结构参数，直接影响材料的带隙结构、载流子迁移率及光学透过率等关键性能指标。然而，在规模化纳米制造过程中，如何快速、准确、无损地测定衬底上石墨烯薄膜的层数，一直是制约产业质量控制的瓶颈问题。拉曼光谱法因其非接触、非破坏、高灵敏度和快速响应等技术优势，已成为石墨烯层数表征最为广泛采用的分析手段之一。

国际电工委员会（IEC）于2025年9月26日正式发布了IECTS62607-6-28:2025《纳米制造关键控制特性第6-28部分：石墨烯相关产品衬底上石墨烯薄膜的层数：拉曼