基于体PZTZ轴自校准压电振动陀螺仪研究.pdfVIP

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兼容自校准的Z轴体压电振动陀螺仪

萨钦·纳迪格、塞尔汉·阿尔达努奇与阿米特·拉尔纽约州伊萨卡康奈尔大学电气与计算机

工程系

制造成本低是另一大优势。

本文了一种激光微加工的锆钛酸铅(PZ与电容式MEMS陀螺仪不同，压电驱动具有与电

T)体材料Z轴科里奥利力陀螺仪，该器件利用面内PZT压的线性依赖关系，而电容驱动则是二次方关系。这规

双压电晶片与PZT检测质量的弹簧‑质量原理。该陀避了电容式陀螺仪中普遍存在的吸合效应导致的驱动和

螺仪可单片集成PZT抖动台实现原位自校准。相比其他感测位移动态范围限制。此外，压电陀螺仪不需要任何

压电陀螺仪，该设计通过利用体PZT的大压电系数与高直流偏置电压，简化了驱动电路设计。在信噪比和信号

密度特性，即使在低谐振品质因数下仍能实现高灵敏度。分辨率方面，理论上块状PZT陀螺仪比微硅陀螺仪具有

由于消除了电容传感所需的微间隙结构，该陀螺仪具