T/ICMTIA 4.2-2020集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类.pdf

T/ICMTIA4.2-2020集成电路用氟化氩光刻胶单体第2部分：固体甲基丙烯酸酯类总结标准主要内容如下：

本标准规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体中固体甲基丙烯酸酯类的要求，包括固体甲基丙烯酸酯类的组成、性能、质量要求和检测方法等。

本标准主要内容如下：

1.术语和定义：明确了固体甲基丙烯酸酯类的术语和定义。

2.技术要求：规定了固体甲基丙烯酸酯类的质量要求，包括分子式、分子量、官能度、单体含量、酯基含量、羟基含量等。

3.检测方法：规定了固体甲基丙烯酸酯类的检测方法，包括气相色谱法、红外光谱法、核磁共振法等。

需要注意的是，本标准还规定了固体甲基丙烯酸酯类在光刻胶中的使用要求，如稳定性、相容性等。同时，本标准还规定了检测过程中的质量控制要求，以确保检测结果的准确性和可靠性。